中商情报网讯：涂胶显影设备是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、烘烤及显影设备，包括涂胶机、喷胶机和显影机。根据使用方式不同可分为单独使用（Off Line）和联机作业（In Line）。

市场规模

涂胶/显影机作为光刻机的输入和输出设备，主要通过机械手使晶圆在各系统之间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程，是集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备。中商产业研究院发布的《2017-2027全球及中国半导体设备行业深度研究报告显示，2021年中国涂胶显影设备市场规模达9.4亿元，同比增长21.7%，2022年市场规模约为11.1亿元。中商产业研究院分析师预测，2023年市场规模将达12.8亿元.

数据来源：中商产业研究院整理

竞争格局

TEL在中国大陆的市占率高达91%，其次为Screen（迪恩士），占比接近5%，中国芯源微涂胶显影设备国产化率仅为4%。

数据来源：中商产业研究院整理