国产半导体设备龙头:已开发出5nm以下刻蚀设备,且获批量订单
2022-04-19
来源:互联网乱侃秀
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众所周知,芯片制造过程中,需要几十上百种设备,还需要上百道工序,堪称世界上最精细,最有科技含量的工艺之一了。
而这些设备中,有2种设备最贵,分别是光刻机、刻蚀机这两种,这2种设备占所有设备成本分别为24%、20%,合计达到44%,都快接近一半了。
光刻机当前全球是ASML最牛,甚至用于7nm及以下的EUV光刻机,只有ASML能够生产,可以说ASML卡住了全球所有芯片制造企业的脖子。
至于刻蚀机能够生产的厂商多一些,当然更重要的是中国厂商在刻蚀机这一块,也非常先进,达到了全球领先水平。
国产厂商中微半导体,在几年前就生产出5nm的光刻机了,并且被TSMC采购,用于5nm的芯片生产线,估计苹果的A14、A15、麒麟9000等芯片制造中就使用了中微的刻蚀机。
如今晶圆厂的工艺不断进入,已经进入到4nm了,甚至马上就要进入3nm了,而作为刻蚀机厂商的中微半导体,当然也会有新产品推出。
在近日的年度业绩说明会上,中微就表示,正在开发新一代的刻蚀设备,可以用于5nm及以下的逻辑工艺,还有1XnmDRAM芯片、128层以上的3D NAND芯片等产品。
另外还表示,公司开发出的12寸的高端刻蚀机,已运用在65-5nm等先进芯片生产线上,同时还根据客户需求,开发出了小于5nm的刻蚀设备,用于若干关键步骤的加工,并且获得了行业领先客户的批量订单。
从这个表述中可以看出来,中微半导体已经开发出了5nm以下的刻蚀机,并且已经被客户批量采购了。另外中微还在开发新一代的刻蚀机,用于5nm以下的芯片等制造。
对此,不知道大家怎么看?如果国产半导体设备厂商,都像中微一样,能将精度推进到5nm甚至5nm以下,那我们还怕什么,美国再也卡不住我们脖子了,所以其它的设备厂商们,加油吧,好好向中微半导体学习学习。