关键词: 台积电
4月21日消息,据台湾媒体报道,晶圆代工龙头台积电位于台湾竹科宝山二期的2nm晶圆厂Fab 20建厂计划已正式启动。
竹科管理局局长王永壮20日表示,竹科管理局已将部分用地租予台积电,台积电将可展开整地作业,估计最晚将于6月取得所有用地。另外,世界先进评估兴建12吋厂且有意进驻铜锣园区设厂,王永壮表示待环差案通过将进行用地分配。
王永壮表示,竹科宝山二期扩建计划进展顺利,经过几十次沟通,已有超过九成的地主同意价购征收,新竹县政府将于4月底公告征收,估计最晚将于6月取得所有用地。同时,管理局3月已将部分用地租予台积电,台积电可以展开整地作业。
台积电此前已确定将在竹科宝山二期兴建Fab 20超大型晶圆厂,未来在此生产2nm。
设备业者指出,台积电Fab 20厂区将分为第一期到第四期、共兴建4座12吋晶圆厂,预计2024年下半年进入风险性试产,2025年进入量产。台积电2nm制程将采用纳米层片(Nanosheet)的环绕闸极(GAA)晶体管架构,技术开发进度符合预期。
台积电2nm之后的更先进制程将进入埃米(angstorm)时代,业界预期,台积电后续将推进到18埃米(1.8nm),但尚未决定设厂地点。设备业者评估,台积电2nm需求强度若优于预期,竹科用地不足,将可能转赴台中建立2nm及18埃米等先进制程晶圆厂,中科二期用地已纳入考虑。
台积电去年进入2nm N2制程技术的开发阶段,着重于测试载具设计与实作、光罩制作及硅试产等,主要进展在于提升基础制程设定、晶体管与导线性能。在光刻技术部份,台积电研发组织藉由提升晶圆良率达到可靠影像以支持3nm试产,并提升极紫外光(EUV)的应用、降低材料缺陷与增进平坦化的能力,以支持2nm技术的开发。