5月12日，有投资者在投资者互动平台提问：请问公司目前半导体设备产能是否能满足目前的订单需求？二季度订单交付是否受到疫情影响？

至纯科技表示，目前订单需求旺盛，公司从2021年开始就已经制定并执行增产计划，目前顺利推行；短期内可以满足订单高速增长的情况；公司半导体设备目前生产制造主要在南通，受到疫情的影响相对较小，二季度交付目前看来影响相对较小。

4月29日，至纯科技发布年度业绩报告称，2021年营业收入20.84亿元，同比增加49.18%；归属于上市公司股东的净利润2.82亿元，同比增加8.12%。

至纯科技表示，营收同比增长，主要系公司半导体板块业务增长的收入贡献，包括半导体制程设备业务、工艺支持设备业务及高纯工艺系统服务业务等；净利润同比增长主要系公司收入规模整体增加所致。