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加速12英寸大硅片国产化 西安奕斯伟硅产业基地扩产项目开工
2022-06-14 来源:网络整理
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关键词: 12英寸 大硅片

6月14日,西安奕斯伟硅产业基地扩产项目于西安市高新区开工,奕斯伟硅产业基地目前拥有一座50万片/月产能的12英寸硅片工厂,已于2020年7月投产,为多家海内外晶圆厂提供抛光片和外延片。本次扩产项目投产后将进一步提升我国半导体硅产业技术实力,强化集成电路产业链综合竞争力。



近两年来,受多重因素影响,集成电路产业产能紧俏,作为上游原材料的大硅片需求不断攀升。然而,我国集成电路产业关键原材料尚处于发展初期,硅片产能主要集中于小尺寸,大尺寸自给率低,约95%以上的12英寸主流硅片正片仍依靠进口,国内产能存在巨大缺口。尺寸越大的硅片,其制造难度越高,对原材料纯度、硅片平整度、表面颗粒数和金属残留量等技术指标的要求就越苛刻。



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