中商情报网讯：半导体设备行业中，前道量检测设备主要运用光学技术、电子束技术等测量晶圆的薄膜厚度、关键尺寸等。前道量检测设备作为半导体设备市场的重要组成，其市场规模在半导体设备中仅次于薄膜沉积设备、光刻机、刻蚀设备。据SEMI数据统计，前道量检测设备约占半导体设备市场规模的13%。

数据来源：SEMI、中商产业研究院整理

得益于半导体行业的繁荣发展，我国前道量检测市场规模快速增长，由2016年的7.0亿美元增长至2020年的21.0亿美元，年复合增长率达到31.61%，远超全球平均水平，占全球市场规模的比例由2016年的14.71%增长至2020年的27.45%，已成为全球最大的前道量检测市场。

数据来源：VLSI Research、中商产业研究院整理