中商情报网讯：半导体设备是整个半导体产业的重要支撑产业，得益于半导体全行业的蓬勃发展和国家政策的支持，我国半导体设备市场规模增长迅速。目前，行业下游晶圆厂在关键工艺节点上成功取得量产，多家国内领先的半导体制造企业进入产能扩张期，都为国内半导体设备企业的技术能力提升和产业规模的扩大提供了源动力。

一、产业链

半导体设备产业链中，上游为零部件和系统软件；中游为半导体设备，光刻机、刻蚀机、离子注入机、涂胶显影设备、氧化炉、CMP/CVD/PVD设备、质检及电学检测设备等；下游为半导体产品，主要包括分立器件、光电子器件、传感器和集成电路。

资料来源：中商产业研究院整理

二、上游分析

1.轴承

轴承是半导体设备制造中的一种重要零部件，它的主要功能是支撑机械旋转体，降低其运动过程中的摩擦系数，并保证其回转精度。数据显示，2021年我国轴承产量完成233亿套，比2020年同期增长32.7%。预计2022年轴承产量将达259亿套。

数据来源：中国轴承工业协会、中商产业研究院整理

2.信息交互系统

半导体设备上游中包括精密运动控制系统、伺服驱动系统和测试分选设备本体；精密运动控制系统作为核心部件，向伺服驱动系统分配运动指令，从而带动测试分选设备本体运转，对芯片进行分选。具体如下图所示：

资料来源：中商产业研究院整理

3.伺服系统

（1）伺服系统市场规模

伺服系统又称随动系统，是用来精确地跟随或复现某个过程的反馈控制系统。伺服系统主要由伺服电机、伺服驱动器、编码器三部分组成。

根据数据显示，我国伺服系统市场规模由2017年的97亿元上升至2021年的224亿元。随着中国人口老龄化的进一步加剧，人口红利逐渐消退，人力成本逐年上升，传统工业尤其是制造业对自动化产线设备的需求将始终保持增长态势。预计到2022年，我国伺服系统市场规模将达到286亿元。

数据来源：中商产业研究院整理

（2）伺服系统主要企业分析

资料来源：中商产业研究院整理

三、中游分析

1.半导体设备市场规模

中国半导体设备的市场规模增速明显，从2017年的554.18亿元增长至2019年的905.70亿元。2020年，中国半导体设备市场亦保持快速增长趋势，销售额为1260.62亿元，同比增长达39.2%，成为全球第一大半导体设备市场；2021年，中国半导体设备市场连续增长，销售额为1993.35亿元，同比增长达58.1%，连续两年成为全球第一大半导体设备市场。2022年中国半导体预计将继续增长，规模达到2745.15亿元。

数据来源：SEMI、中商产业研究院整理

2.半导体设备市场占比

从细分产品来看，光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备为半导体设备主要核心设备，分别占比24%、20%、20%。其次为测试设备和封装设备，分别占比9%、6%。

数据来源：SEMI、中商产业研究院整理

3.半导体设备国产化率低

中国半导体设备行业整体国产化率的提升还处于起步阶段，目前国内半导体生产厂商所使用的半导体设备仍主要依赖进口。根据中国电子专用设备工业协会的统计，2021年半导体设备进口46894台，合计进口额1147.96亿元，同比分别增长84.3%和56.4%。

数据来源：中国电子专用设备工业协会、中商产业研究院整理

4.重点企业分析

资料来源：中商产业研究院整理

5.企业分布热力图

资料来源：中商产业研究院整理

四、下游分析

1.半导体市场规模

我国本土半导体行业起步较晚。但在政策支持、市场拉动及资本推动等因素合力下，中国半导体行业不断发展。步入21世纪以来，我国半导体产业市场规模得到快速增长。数据显示，中国半导体市场规模由2016年的4336亿元增长至2020年的8848亿元，年均复合增长率达19.5%。中商产业研究院预测，2022年中国半导体市场规模将达11008亿元。

数据来源：中国半导体行业协会、中商产业研究院整理

2.集成电路产量

集成电路在消费电子、高端制造、网络通讯、家用电器、物联网等诸多领域得到广泛应用，已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。数据显示，2021年我国集成电路产量达3594.3亿块，同比增长33.3%。2022年1-5月，我国集成电路产量达1348.75亿块，同比下降6.2%。

数据来源：中商产业研究院数据库

3.分立器件产量

近年来，物联网、可穿戴设备、云计算、大数据、新能源、医疗电子、VR/AR、安防电子等新兴应用领域成为国内半导体分立器件产业的持续增长点。2020年受疫情影响及出口市场的下滑，我国半导体分立器件产量达7317.7亿只，同比下降4.3%，预计2022年我国半导体分立器件产量可达8079.2亿只。

数据来源：中国半导体行业协会、中商产业研究院整理

4.光电子器件产量

光电子器件是利用电-光子转换效应制成的各种功能器件，是信息技术的重要组成部分。数据显示，2017-2018年我国光电子器件产量稳步增加，2019-2020年产量下降，降幅超10%。2021年由于市场需求增长，我国光电子器件产量恢复快速增长，产量为12314.1亿只。最新数据显示，2022年1-5月全国光电子器件产量为4589.1亿只，同比下降5.9%。

数据来源：国家统计局、中商产业研究院整理