中商情报网讯：涂胶显影设备是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、烘烤及显影设备，包括涂胶机、喷胶机和显影机。根据使用方式不同可分为单独使用（Off Line）和联机作业（In Line）。

市场规模

涂胶/显影机作为光刻机的输入（曝光前光刻胶涂覆）和输出（曝光后图形的显影）设备，主要通过机械手使晶圆在各系统之间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程，是集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备。中国大区（含中国台湾地区）前道涂胶显影设备市场规模预计由 2016 年的 8.57 亿美元增长至2023 年的10.26 亿美元，年均复合增长率有望达 7.78%。

数据来源：中商产业研究院整理

竞争格局

TEL 在中国大陆的市占率高达91%，其次为 Screen（迪恩士），占比接近 5%，中国芯源微涂胶显影设备国产化率仅为4%。

数据来源：中商产业研究院整理