半导体设备行业中，前道量检测设备主要运用光学技术、电子束技术等测量晶圆的薄膜厚度、关键尺寸等，或检测产品表面存在的杂质颗粒、机械划伤、晶圆图案缺陷等，贯穿光刻、刻蚀、薄膜沉积、CMP等晶圆制造的全部工序。前道量检测设备根据使用目的可分为测量设备和检测设备。

前道量检测设备作为半导体设备市场的重要组成，其市场规模在半导体设备中仅次于薄膜沉积设备、光刻机、刻蚀设备。数据显示，前道量检测设备约占半导体设备市场规模的13%。

数据来源：SEMI、中商产业研究院整理

全球市场规模分析

近年来，全球前道量检测设备市场呈现稳步增长。数据显示，全球前道量检测设备市场规模由2017年的56.1亿美元增长至2020年的76.5亿美元，复合年均增长率达10.9%，预计2023年将达92亿美元。

数据来源：VLSIResearch、中商产业研究院整理

中国市场规模分析

得益于半导体行业的繁荣发展，中国大陆前道量检测市场规模快速增长，由2017年的8.4亿美元增长至2020年的21亿美元，年复合增长率达到35.7%，远超全球平均水平，已成为全球最大的前道量检测市场，预计2023年将达33.7亿美元。

数据来源：VLSIResearch、中商产业研究院整理