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实话实说,除了ASML,全球很难再有企业研发出EUV光刻机
2023-04-23 来源: 只谈数码科技
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关键词: 台积电 中芯国际 光刻机

在光刻机领域,ASML一家占了全球近80%的份额。


而在EUV领域,ASML一家占了100%的份额,在DUV光刻机中的浸润式光刻机中,ASML一家占了90%+以上的份额。


可以说,高端光刻机是ASML的天下,其中EUV光刻机更是ASML的独家生意。



这可能就让人纳闷了,目前EUV光刻机这么抢手,intel、三星、台积电、美光、SK海力士等都在抢EUV光刻机,ASML的产能也不大,EUV光刻机是一机难求。


但为何像尼康、佳能等其它光刻机厂商,基本上都不去碰EUV光刻机呢?大家都想要进入EUV光刻机这样的先进领域,但都不是EUV的方向,更多的还是选择另外的方向,比如NEL电子束、DSA自生成技术、NIL纳米压印等,都与EUV方向不一样。



其实很简单,那就是除了ASML之外,全球很难再有企业,能够研发出EUV光刻机,它不仅仅是技术上的问题,更是商业上的问题。


ASML的EUV光刻机,并不是ASML独立造出来的,ASML曾说过,自己最多只生产其中15%的核心部件,另外的85%是全球供应链提供的。


从技术方面来看,ASML已经拉拢了德国蔡司、美国企业Cymer,再与德国TRUMPF公司,从光源、物镜、工作台等方面,形成了技术共同体,大家要获得这个技术很难。



更难的是从商业上面,ASML与下游的晶圆厂是一体的,比如台积电、intel、三星等是ASML的股东,大家一起合作共同开发EUV光刻机,大家捆在一起,利益共享。


而EUV的市场本身其实并不大,别看它这么抢手,但基于高端芯片市场的需求,EUV光刻机的市场规模,也就只能养活一家ASML这样的厂商,再多一家都困难。


所以其它任何一家厂商,就算研发出了EUV光刻机,最终双方都可能活不下来,要打价格战,打死另外一家,才能够活下来。



这种价格战,其实是不利于整个行业的,所以像台积电、三星、intel这样的厂商,还有EUV光刻机整个产业链的厂商,都不会愿意看到这样的情况,到时候是几败俱伤,没有赢家。


所以另外的厂商,也明白这个道理,基本不会去从EUV领域入手,去抢ASML的市场,因为基本上不会成功。而ASML也明白这个道理,所以也不会乱定价,会定一个大家接受,且相对合理的价格,维持整个产业链的平衡,让大家真正捆在一起,不给其它厂商机会。



所以,这也是目前为何其它光刻机厂商,就算想进入先进制程,也不会从EUV入手的原因,而是选择另外方向,因为另外方向上,ASML没有与上、下游、以及整个产业链形成捆绑,这样才有机会。


至于中国厂商,会不会从EUV光刻机入手?现在讨论这个还太早了,国产光刻机还处于90nm阶段,先迈进浸润式阶段再说,等掌握了浸润式,再来考虑EUV,路还是要一步一步慢慢走才行。



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