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全方位对比分析,为什么氧化镓才是迄今为止最好的芯片材料?
2023-05-05 来源:网络整理
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关键词: 光刻机 芯片 半导体

美国通过限制ASML为中国供应EUV光刻机来阻止中国发展先进芯片,然而中国芯片并未因此止步,除了继续推进光刻机产业链之外,还在尝试新的办法研发先进芯片,那就是芯片材料,而日前消息指出中国在第四代芯片材料方面已取得重大突破。


芯片材料是绕开光刻机的一种重要途径,这方面其实美国也在做,美国一家新创企业就尝试将碳纳米管注入芯片中,由此以90纳米工艺生产的芯片性能却比7纳米硅基芯片还要强50倍,而功耗却更低。


除了碳基芯片之外,全球芯片行业还在研发的芯片还有光芯片、量子芯片等,这些方面其实中国也在推进,中国已筹建了全球第一条光子芯片、量子芯片生产线,加速这些先进芯片技术的发展。




第四代芯片材料

此外其实还有第三代、第四代芯片材料等,在第三代芯片材料方面中国在氮化镓等方面已基本与海外保持同步,氮化镓芯片已广泛应用于LED、汽车芯片、充电器等行业,在第三代芯片材料方面取得进展之后,全球芯片行业如今开始瞄准第四代芯片材料。

第四代芯片材料之一就是氧化镓,氧化镓具有更低的导通电阻、击穿电场强度等特性,在太阳能、汽车芯片等行业又广泛应用,对中国芯片来说更重要的是绕开EUV光刻机的限制,打破摩尔定律,开辟芯片技术新道路。

在氧化镓芯片材料研发方面,中国已与美国、日本等展开较量,依托于雄厚的芯片技术实力,美国无疑在氧化镓材料方面居于领先地位,正是由于它所拥有的技术优势,美国商务部在2022年发布一项新规,对包括氧化镓在内的四种技术实现出口管制,针对的无疑就是中国芯片。

美国还拉拢了日本,日本在氧化镓方面也具有很强的技术优势,日本在全球最先实现了6英寸的氧化镓晶圆的制备。日本其实在芯片材料方面一直都有很强的实力,日本至今仍然占有硅晶圆市场六成的市场份额,台积电这家全球最大的芯片代工厂都要从日本进口硅晶圆,如此也就不奇怪日本在氧化镓晶圆方面取得领先优势了。

中国芯片行业当然不会被美国的做法阻挡,中国在芯片技术基础方面也有不小的积累,这得益于中国很早就建立自己的工业基础体系,这种体系在如今光刻机的发展中就有所体现,美国通过拉拢全球诸多经济体阻止对中国出口光刻机等芯片设备,中国却迅速发展起自己的芯片设备体系,就证明了这个实力。

在氧化镓材料研发方面,其实中国在全球也是居于前列,日前西安邮电大学就宣布研发成功8英寸氧化镓晶圆,如此一下子就超越了日本和美国,这意味着中国在第四代芯片材料方面已取得领先优势。


世界最强半导体——氧化镓

氮化镓的性能已是出类拔萃,但是它还不是最强的。世界最强半导体材料就目前的指标而言,是氧化镓。

氧化镓的禁带宽公开报道是4.9eV,砷化镓的禁带宽为1.6eV,氮化镓是3.36eV。另据报道,硅的禁带宽为1.1eV,如果干瘪的数字不好比较,那我们就打一个比方:假如4.9eV与3.36eV相差的是一英里的话,那么4.9eV与1.1eV的距离就是一个马拉松。



然而报道中的氧化镓4.9eV的禁带宽并不是它的实际数据,因为在当时实验室条件下还无法探测氧化镓禁带宽度边界。对于半导体材料禁带宽检测,一般在为15到20微米半导体材料上进行,由于氧化镓能力强,这么大的面积根本无法检测到边界,因此降至600纳米,探到的数值为近5eV,但据推算,当时实验内部可能达到8eV,而且这还不是它的边界。也就是说,在禁带宽度方面,氮化镓与氧化镓的距离有好几个马拉松。2017年时,美国空军研究实验室还展示了1千兆赫时,脉冲射频功率输出密度超过每毫米500毫瓦的情况,最大振荡频率接近20千兆赫。表明氧化镓的JFOM明显优于氮化镓。

美国2022年把氧化镓列入出口管制,当时他们看到的不是氧化镓的禁带宽度,而是氧化镓的耐高压。

与氮化镓历经20年才达到每厘米8兆伏不同,氧化镓第一次尝试内部电场峰值就至少达到了每厘米5.3兆伏。需要注意的是,它的数据也是在600纳米条件下实现的。

在实验中,氧化镓在使用过程中几乎没有能量损耗,而且好像一直于开启状态。这可能源于栅极-漏极间隙通常只有15到20微米,这让它的寄生电阻很小,小到可以忽略。2017年的时候,氧化镓的耐压试验已达600伏,这个电压,氮化镓用了二十多年。

但是想要做第四代中最强的半导体,单有禁带宽与耐高压是不够的。

氧化镓可以通过掺杂的方法,在氧化镓中加入电荷载流子,使其更具导电性。而且这个掺杂与硅材料掺杂有极大相似性。对于硅,可以使用离子注入法,然后退火处理,在晶体中掺杂磷(以添加自由电子)或硼(以减去自由电子),从而使电荷能够自由移动。对于氧化镓,可以用同样的方法在晶体中掺杂硅来添加电子。这个方法只有氧化镓能做,像其它的四代半导体金刚石等则会引起电荷卡死,提高不良率。

氧化镓还有一个特性是其它半导体材料不具备的。那就是它的晶棒也可以用硅材料生成化制造,这有利于大幅度降低氧化镓的生产成本。氧化镓目前有三种形态,分别是β、ε、α。其中β-氧化镓具备良好的热稳定性,因此可以使用大量的商业技术来制造,包括用于制造硅片的提拉法。也可以使用“边缘定义、薄膜馈电晶体生长”技术来生产β-氧化镓晶圆。甚至可以使用可高度扩展的垂直坩埚下降技术生长晶体。

氧化镓后面这两个特性很重要,这让它可借用各种各样的既有商业光刻和加工技术。这两点,其它半导体做不到,包括氮化镓。除碳化硅(SiC)以外,其他所有新兴宽带隙半导体必须生长在另一种材料盘中,比如氮化镓通常依靠复杂的工艺在硅、碳化硅、蓝宝石基底上生长,由于基底的晶体结构明显不同于氮化镓的晶体结构,这种差异会造成基底和氮化镓之间的“晶格失配”,从而产生大量缺陷。这样芯片的良率下降,而且生产成本也大幅上升。

据报道,近日,中国电科46所氧化镓团队聚焦多晶面、大尺寸、高掺杂、低缺陷等方向,生产出世界最大6英寸的氧化镓单晶体。这具有里程碑意义。因此在氧化镓良好性能的基础上,通过掺杂等工艺,并利用硅晶生成、光刻等现有工艺,让氧化镓不止在射频、大功率开关管上有作为的可能。

以上优点垫成了氧化镓是现有半导体材料中最强的。但是氧化镓而有一个其它所有半导体材料没有的特性,它可以用于量子力学,其原因就是氧化镓是一种透明导电氧化物。这意味着氧化镓在用于量子计算机、量子通讯、量子雷达方面比其它半导体材料更具优势。就此一点,也是最强半导体。当然,这是在新的半导体材料未出现之前。


与第三代半导体衬底环节的对比



从上表可以看出:


1、 晶片尺寸

三种材料目前的尺寸基本相当,即单片衬底的芯片产出相差不大(GaO器件做成垂直器件相对会更小,此处差异忽略不计)。SiC已有8寸单晶衬底、GaN(自支撑)目前有4寸量产产品,6寸样品刚进入市场,未量产暂时未考虑。


2、设备投入:(晶体生长炉+坩埚+晶体加工设备)

GaO设备投入每条产线投入约350万,SiC设备投入每条产线550万,GaN设备投入每条产线800万。


3、生产效率

GaO每月可产出8炉,年产80炉,可产800片,边角料短期内还可切成10mm * 10mm的小片销售给科研单位研究用,每炉100片,年产8000片小片。SiC每月可产4炉,年产40炉,可产400片,不能按小片销售,且良率按30%算约为120片。GaN自支撑衬底产量更小。


外延及芯片加工阶段的对比




从表上可以看出:

SiC、GaN的外延生长设备成本就明显要高出GaO材料数倍,且因为外延时间较短,升温、降温的时间要远远大于实际外延生长时间,所以几种材料外延的速度差异并不明显,而且由于各家技术有差异,用途不同的外延也有些许差别,此处不做更深入的比较。目前各种材料的外延技术较为成熟,可以满足市场的需求。

芯片加工阶段,由于GaO、SiC可以使用垂直结构,所以同等规格下,芯片面积较小,为便于比较,暂时忽略这种优势,三种材料在功率芯片加工过程的成本差异不大。

综上可以看出,GaO器件最终成本低于SiC、GaN,且性能更好,具有独特的竞争优势。


成本对比

根据Joule杂志2019年美国NREL(Strategic Energy Analysis Center at National Renewable Energy Laboratory国家可再生能源实验室-战略能源分析中心)发表的文章《How Much Will Gallium Oxide Power Electronics Cost?》中展示的衬底成本模型和技术改进效果预测,单片GaO的晶圆成本可由当前的283美金下降到195美金,大大低于SiC 成本(916美金)。

由于成本构成中超过60%是铱坩埚带来,若能找到优化坩埚损耗甚至替代铱坩埚的方法,将可以进一步大幅度降低GaO成本。


热导率和迁移率问题

GaO的低热导率、低迁移率问题可作为未来数年业界进行科研的主攻方向,突破这些问题将能够大幅度提高人们对GaO的应用预期,推动GaO的产业化进度,但其实这些参数并不会实际上影响当前GaO导入实际应用的价值。


热导率

半导体功率器件应用中所涉及到的热问题,要细分为三部分来分析:产热,耐热,散热。


1、 产热

功率器件主要有驱动损耗、开关损耗和导通损耗三个部分带来损耗,损耗越低,效率就越高,而决定这几种损耗的关键指标就分别是Qg、Coss和Ron,所以降低损耗的关键是降低这几个指标。

Ron,即On-resistance导通电阻,主要是与材料的特性决定。业界看好。Ga2O3、SiC、GaN在功率领域的应用前景,也因为这几种材料的Ron极低,可以大幅度降低导通损耗。SiC的导通电阻是Si产品的1/6,而GaO的导通电阻是SiC的1/6,在导通损耗方面具有很大优势。对于功率器件来说,Ron是一个关键指标,导通电阻越低,其损耗越小,产生的热量越少,从而有效控制温升。


2、 耐热

材料耐高温的特性进一步使得低热导率在应用中不会产生实质影响。


3、 散热

既然材料产热少,又耐热,那么对散热的要求就会降低,如果在封装环节也充分考虑到Die的散热,就可以进一步降低材料低热导率带来的影响。


迁移率

作为晶体管性能指标的沟道迁移率,需要达到实用化标准(200 cm2/V·s)才具有应用价值。半导体器件的迁移率简单分析,主要包含了体迁移率和沟道迁移率两个方面。其中体迁移率主要跟材料本身特性相关,沟道迁移率与器件结构相关。如果在射频方面应用,对迁移率要求很高,在这一点上,GaO的性能目前确实是不如GaN有优势的,GaN在射频方面的应用还会持续扩张。

预计GaO的市场机会将会率先出现在市场门槛较低、成本敏感的消费电子、家电以及能发挥材料高可靠、高性能的工业电源等领域,并将在2025年至2030年开始全面渗透车载和电气设备领域。



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