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ASML CEO:中国不太可能独立造出顶尖光刻机,但也不是绝对
2023-06-16 来源:只谈数码科技
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关键词: 光刻机 芯片 中芯国际

ASML有多重要,ASML生产的EUV光刻机有多重要,相信每一个关注芯片产业的人都清楚。


在当前情况之下,任何一家芯片企业,如果工艺想进入7nm及以下,ASML的EUV光刻机就必不可少,因为只有它能够生产。



但ASML没有完全的自主权,他无法真正的决定将自己的EUV光刻机卖给谁,最终它还得听美国的,比如ASML在2018年的时候,就想向中国出口最先进的EUV光刻机,最后美国不允许他卖,所以4年过去了,这台EUV光刻机都没交货。


而今年,ASML甚至因为美国的禁令,对浸润式光刻机的出口都进行了限制,目前两款2新的不能卖,只有一款相对落后的浸润式光刻机,能卖给中国。


也正因为如此,所以中国一直在努力的研发自己的光刻机,特别是EUV光刻机,一旦中国厂商能够生产EUV光刻机了,那么ASML就彻底的没有竞争力了。



但近日,阿斯麦(ASML)CEO温彼得(Peter Wennink)表示。“中国不太可能独立复制(replicate)出顶尖的光刻技术。”


不过这样说完之后,他还是做了补充:“这也并不是绝对不可能,因为中国的物理定律和我们这里是一样的”。


那么顶尖光刻机的难点到底在哪里?其实主要有三块,一块是曝光光源,也就是极紫外线的产生。



第二块是对准系统,也就是如何将产生的紫外线收集起来,并使其具有方向性和精准度。第三部分才是透光镜头等技术的整合。


而这三部分之中,前两部分其实都不完全算是ASML的技术,是ASML整合德国TRUMPF、德国的蔡司公司的产品和技术。第三块才主要是ASML的技术。


一台EUV光刻机,有超过10万个零件,来自于上千家供应链,如果中国想要独立的制造出来,意味着需要上千家供应链崛起,然后都达到顶尖水平,这个确实比较难。



不过温彼得最后补充的话,也是留了余地的,那就是也并不是不可能,还是有可能的。毕竟温彼得在之前还说过,“出口管制将加快中国自主研发,15年时间里他们将做出所有的东西”。


那么15年内,是中国研发出全球最顶尖的光刻机,还是ASML放开出口?



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