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7nm芯片,不用EUV光刻机一样造,这就是我们的能力和底气?
2023-11-03 来源:科技专家
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关键词: ASML 芯片 华为

不知道从什么时候起,很多人认为制造7nm芯片,必须要有EUV光刻机,而一旦得不到EUV光刻机,最多就是10nm,进入不了7nm。


但不曾想,前段时间遥遥领先品牌,搞出了一颗等效于7nm的芯片,其晶体管密度达到了98MTr/mm²,也就是9800万个每平方毫米,等效于台积电、三星的7nm工艺。



一时之间,网友们都沸腾了,不仅国内的网友沸腾了,连海外媒体也沸腾了,天天拆解这款手机,分析这颗芯片,最后得出的结论是,没有EUV光刻机的痕迹。


这就证明了,它不是EUV光刻机的产物,而看到这个结果,估计ASML也是松了口气,因为一旦有EUV光刻机的痕迹,只怕ASML跳进黄河也洗不清了,因为全球只有他能够生产,而美国不准他卖到中国大陆来的,他怎么敢背这个锅。



然后,大家就又猜测,那么没有EUV光刻机,7nm芯片又是怎么来的呢?


事实上,通过浸润式光刻机,经过多次曝光,完全可以实现7nm工艺。而多重曝光方式,甚至有LELE、LFLE、SADP等多种方式。


只不过与采用EUV光刻机相比,多重曝光方式意味着工艺更复杂,良率会降低,效率会降低,成本会提高而已,当没有办法时,那也不得不用。



之前台积电的第一代N7工艺,就是使用的浸润式光刻机生产的,比如苹果的A12、华为海思980,均是浸润式光刻机下的7nm产物。台积电直到第二代N7工艺,才导入EUV光刻机,在当初的时候,台积电还会强调,这是EUV 7nm工艺,与非EUV工艺进行区分。


而使用浸润式光刻机,能够制造出7nm芯片,也是我们的底气,因为浸润式光刻机,目前国内并不少,这么多年购买下来,产能非常大,毫不担心封禁。


何况按照媒体的说法,目前国内自研的浸润式光刻机,也快要来了,所以这就是我们的底气和能力。



而近日,浸润式光刻机之父林本坚,前台积电研发副总,更是有不同的观点,他觉得中国大陆甚至有可能利用现有的设备,进行改进,制造出5nm的芯片出来,不一定非得要EUV光刻机才行。


当然会不会是这样,就让我们拭目以待了,当谜底真正掀开的那一刻,估计我们就全部做好了准备,毕竟能够制造5nm芯片,意味着全球98%的芯片能够制造了,那还怕啥?



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