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ASML的光刻机坏了,我们能不能自己修?真要变废铁?
2023-11-09 来源:科技专家
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关键词: ASML 中芯国际 芯片

众所周知,前段时间美国商务部副部长艾伦·艾斯特韦斯表示,美国在等中国的光刻机坏掉,意思就是一旦坏掉了,美国又不给许可证,那么光刻机就无法运转了。


因为按照美国最新的禁令,浸润式光刻机、EUV光刻机都不能卖到中国来,就算已经买到的这些禁令不允许的光刻机,那么其维修、更换备件也都要许可证的。



那么问题来了,ASML的光刻机坏了,我们能不能自己修?


目前国内没有EUV光刻机,这个问题就不要说了,反正也没有EUV,所以也不会坏,坏了肯定也不会修。


比较成熟的ArF(干式DUV光刻机)、KrF、i线、G线光刻机这些不在限制的范围之内,所以也不要考虑能不能修的问题,坏了找ASML来修即可。



真正要考虑的是被限制住,但又至关重要的浸润式光刻机,也就是ArFi这种,美国之前的禁令允许ASML出售ArFi光刻机给中国的,直到今年的1017禁令,才限制住这种光刻机,所以国内有很多浸润式光刻机。


而按照媒体的说法,这种ArFi光刻机,通过多重曝光,是可以实现7nm工艺的,而这也是美国限制的重要原因之一。按照新的禁令,这种光刻机坏了,如果需要ASML来维修,或更换备件,是需要许可证的。


所以美国说等中国的光刻机坏掉,大概率就是等浸润式光刻机坏了,我们无法自己修,那么7nm工艺就实现不了,意图就在这。



那么我们能不能修?答案是:目前我们自己还不能修。


之前有位专业人士表示,由于ASML一直是提供一揽子服务的,买了他的机器,后续的售后全部由ASML包了,且在中国就有服务团队,所以一直以来,都是ASML自己来维修。


再加上光刻机里面本身设备就非常复杂,各种光设备、机械设备,线路等非常复杂,维修并不容易,国内也没有这一块的专业工程师,毕竟自己也造不出来。


且国内也没有备件,某个零部件坏了,只能靠ASML提供备件来更换,没有替代品的。



但是,如果ASML不给修了,没办法了,我们只能自己修了,至于能修到什么程度,谁也不清楚,这个是一步一步来的,也许过程会比较艰难,但如果能修好,对于研发自己的光刻机,也是有积极意义的。


另外国内在零部件这一块,可能是个硬伤,毕竟国内光刻机技术本来就落后一些,不太可能能够生产出ASML的浸润式光刻机的备件出来,但还是那句话,关键时候,也只能试一试了,不可能真的坏掉,就变成废铁了吧。


好在光刻机没这么容易坏掉,一般周期需要3-5年才会维修或更换备件什么的,而3-5年之后,会是什么样的,谁又清楚了,或许中国自己的EUV光刻机都研发出来,还担心个啥。



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