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未来3-5年,中国大陆不缺浸润式DUV光刻机,5nm芯片也不用愁
2024-01-08 来源:科技专家
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关键词: 光刻机 芯片

一直以来,中国大陆是买不到ASML的EUV光刻机的,我们只能买到DUV光刻机,而DUV不论先进,还是落后,都能随便买,ASML重申了好多次的,这个大家都清楚。


不过,按照荷兰,美国等的禁令,从2024年1月1日开始,ASML最新的DUV光刻机NXT:2100i、2050i已经不能卖给中国大陆了,这两种的许可证被吊销了。



虽然ASML没有说,另外两台浸润式DUV光刻机NXT:2000i,NXT:1980Di还能不能卖,但估计也够呛,因为按照美国2023年10月份的禁令要求,NXT:1980Di实际上也是不行的,其DCO值超过了美国的限制。


至于日本,则卡的更严重,40nm的设备就不能卖到中国大陆来的,所以尼康的浸润式光刻机,不管什么型号,都是无法卖到中国来的。



正因为如此,所以很多人担心,接下来我们需要浸润式光刻机怎么办?毕竟进入65nm以下,就需要用到浸润式光刻机了,普通的干式DUV光刻机,其最小工艺制程,只在65nm的。


事实上,大家真的不用愁,至少3-5年内,中国大陆是不缺浸润式DUV光刻机的。


一方面是前面已经说过了,ASML没有将话说死,只说NXT:2100i、2050i这两款的许可证吊销了,还有NXT:2000i,NXT:1980Di这两款啊,这4款浸润式DUV光刻机,精度是基本相同的,只是效率不同而已。



另外一方面,2023年,中国大陆向ASML采购了约600亿元的光刻机,是2022年采购量的3倍左右,其中以浸润式DUV光刻机为主,说明我们早就做好了准备,按照正常的使用情况来看,用个3-5年问题不大。


毕竟以前一年才采购100-200亿,现在一年采购了600亿了,已经做好未来几年用量准备。


第三,则是目前中国国产浸润式光刻机突破在即,也许不需要3-5年就突破了,那时候都不需要进口了,还担心什么呢?



最后,再说一说,浸润式DUV光刻机,制造7nm芯片是不成问题的,这个台积电第一代7nm,就是浸润式DUV光刻机制造出来的,而华为Mate60上的芯片,也验证了这一点。


而浸润式光刻机之父林本坚甚至表示,浸润式光刻机,从7nm推进至5nm,也是可行的,只是需要更多次的曝光,导致成本上升而已,成本很重要,但没有进入5nm重要嘛。


所以说,未来3-5年,我们根本就不用愁浸润式DUV光刻机,甚至推进至5nm也不用愁,我们已经有了足够的准备,至于3-5年之后, 也许时代早就变了,就更不需要杞人忧天了。



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