众所周知,2024年刚开如,靴子就落地,ASML表态称自己的两张许可证被吊销了,涉及的光刻机型号是NXT:2050i和NXT:2100i,ASML称,“可能会对少数客户带来影响”。
于是大家一时间就想到,中国大陆肯定买不到这两种最先进的光刻机了,那么可能会对中国大陆的先进工艺造成一定的影响。
这么想是有道理的,因为一直以来美国的禁令,就各种针对中国,2019年禁了EUV光刻机,后来在2023年,将高端的浸润式DUV光刻机也禁了。
按照业内人士的说法,浸润式DUV光刻机,采用193nm波长光源,经过水的折射,等效于134nm,再借助多重曝光等技术,能生产7nm制程芯片,甚至理论上能生产5nm芯片。
而目前国产光刻机,官宣的还还处于90nm工艺,目前我们的实际水准,其实达到了至少7nm工艺,所以这种浸润式DUV光刻机,不可或缺的。
不过,理论上虽然如此,但由于ASML在2023年还是够意思的,所以在2024年我们肯定是不缺浸润式DUV光刻机的,甚至未来3-5年可能都不会缺。
一是目前被吊销的许可证,其实应该早在2023年9月1日就要被吊销的,但在ASML的努力,以及多方斡旋之下,拖了一个季度。
二是吊销的还只有NXT:2050i和NXT:2100i这两款,目前ASML在售的浸润式DUV光刻机一共有4款,还有NXT:2000i和NXT:1980Di这两款。
如下图所示,这4款光刻机的分辨率是一样的,只是产能不同,所以实际上都能够实现7nm,甚至理论上5nm的。
三是2023年ASML很够意思,努力配合中国大陆客户的要求,在禁令生效之前,努力“抢运”光刻机。
2023年抢的有多猛,给大家两组数据对比一下就明白了,2022年中国从ASML进口的光刻机数量约为100台,金额约为21亿欧元(约170亿元)。
而2023年1-11月,中国从ASML进口的光刻机就超过200台,金额超过500亿元,已经是去年的3倍了。
ASML还称,2023年基本上将欠中国客户的订单交付了,看到这里估计大家明白了,ASML显然将光刻机产能中的很大一部分,优先调配给了中国客户,这还不够意思?
要知道现在光刻机只是全球紧缺货物,晶圆厂们都在排队抢,ASML能在这样的情况之下,将产能向中国大陆客户倾斜,殊为不易。
所以,在ASML的努力之下,2024年,我们肯定是不缺浸润式DUV光刻机,高端的去年已经买到了很多,相对低端一点的, 现在还能买,根本就不用发愁,足够用几年了。
另外,从芯片发展来看,芯片的“制程”不能无限制缩小,线宽从28nm制程之后,就基本没有再提升,所谓的5nm,并不是指芯片的最小线宽达到了5nm,而是借助架构和工艺的提升,实现了“同5nm芯片一样的能效”。
所以,当我们设计改进,架构,封装技术改进,就算用这个DUV光刻机,未必不能制造出媲美3nm工艺的芯片来,大家从更长远一点来看,也不用急。
更何况,目前技术不断发展,制造先进的芯片,也不只有光刻这一条路,还有纳米压印、电子束光刻、DSA自生长等技术,均处于爆发前沿了,说不定这个禁令,倒逼中国走出另外一条路来。