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给图纸也造不出EUV光刻机?150吨,45万套零件,250人要装半年
2024-02-27 来源:科技专家
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关键词: 半导体设备 光刻机 芯片

众所周知,EUV光刻机是制造7nm以下芯片,必须用到的半导体设备,且全球仅ASML一家能够生产,还不能卖给中国。


所以中国的芯片制造工艺要进入7nm以下,千难万难,除非中国能够自己制造出EUV光刻机出来,或者换一条路,不采用光刻工艺……


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于是很多人就奇怪了,中国的模仿能力不是一流的么?那么将EUV光刻机拆了,将里面的零件一比一复制,不就造出来了么?


事实上,要造光刻机真没这么简单,之前网上流传一个故事,说ASML的工程师对中国去参观学习的工程师说,给你们光刻机的图纸,你们都造不出光刻机来。


虽然不是真假,看起来也有一点夸张,但实情也许还真是如此,特别是EUV光刻机,真的给我们图纸,也未必造的出来。


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首先EUV光刻机非常复杂,全球有5000多家供应商,一共有45万多套零件,注意这里的单位是“套”,所谓的“套”,是指已经做了一些整合的零件了。


这45万多套零件,实际上还可以再拆分,如果按不可拆卸的最小单位来计算零件,据称至少超过300万个。并且这里面很多核心零件,是无法模仿的,有些零件甚至全球仅有那么一家厂商能够制造。


而这家厂商和ASML就有独家合作协议,比如蔡司的物镜系统等,我们拿什么去一比一复制出来?我们难道还难自己搞定5000多家供应链,自己制造出这300多万个零件?所以还真是给图纸,都造不出来。


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其次,EUV光刻机也非常复杂,就算安装调试都是一个大工程,目前的EUV光刻机,重量超过150万,也就是15万公斤。


在ASML交付的时候,并不是一台整的机器交付的,而是分成若干个零件交付,运输的时候,一台EUV光刻机就需要250个货箱来运输。


然后运输到目的地之后,需要ASML安装250个装配工程师,再花180天的时间,才能安装调试完成,中间需要大量的技术、经验等。


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所以不吹不黑,就算ASML将图纸给我们,一方面我们找不到这些合适的零件,二是我们找到了零件,都未必能够安装调试完成。更何况中间还有各种专利限制。


所以,研发EUV光刻机,真不是一件容易的事情,我们一方面虽然不能自己人灭自己人威风,要有信心,但另外一方面也要清楚,这事真的不容易,要有清醒认识,要有打一场攻坚战的准备。



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