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ASML新EUV光刻机28亿?台积电:我不买,不浪费钱,2nm一样造
2024-06-04 来源:科技专家
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关键词: ASML 台积电 晶圆

ASML是全球光刻机垄断者,EUV光刻机占100%的市场,全球只有ASML能生产。浸润式DUV光刻机,ASML占了90%以上的市场。


而整个光刻机领域,ASML一家占了80%以上的市场,靠着光刻机,ASML制霸全球,可以说所有的晶圆厂,都被ASML牵着走。


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做生意当然不能是一锤子买卖啊,必须持续不断的赚钱才行,所以为了赚钱, ASML的光刻机,也是一代又一代的更新,每一代相比上一代,在精度、速度等上面,都会有所改进,但改进却又不是特别多。


这样晶圆厂,为了获得更高的精度,更快的速度,更高的效率,不得不一代又一代采购ASML的新光刻机,淘汰掉旧光刻机。


其实在EUV光刻机之前,这种更新换代,晶圆厂们还是能够接受的,毕竟光刻机也不是特别贵,但到了EUV光刻机之后,就麻烦大了。


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因为一台EUV光刻机,就是1亿多美元,10台就是10多亿美元,换成人民币,就是上百亿元,如果还经常要更新换代,这样的成本,没有几家厂商吃的消啊。


所以一直以来,就有企业想要用旧一点光刻机,来实现更高精度芯片的制造。


比如台积电,第一代7nm工艺时,用的是浸润式DUV光刻机,不采用EUV光刻机。


后来更是用旧EUV光刻机,生产更先进一点的3nm芯片技术,而不是直接就从ASML那采购更高级的EUV光刻机。


而近日,台积电更是表示,其A16(也可以认为是1.6nm)工艺,将在2026年量产,而所谓的A16工艺,实际上是2nm工艺的升级版,台积电2025年实现2nm,2026年实现A16。


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同时台积电还着重提出,A16制程工艺并不需要下一代High-NA EUV光刻系统的参与。


为何会着重提出这一点,原因在于目前业界有一种声音,那就是进入2nm工艺,必须用到ASML最新的光刻机,也就是High-NA EUV光刻机。


这种High-NA EUV光刻机对应之前的EUV光刻机,最大的区别的就是数值孔径的变化,之前的EUV光刻机数值孔径是0.33,而High-NA EUV提供了0.55数值孔径。


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ASML称,之前的标准EUV光刻机可以打印13.5nm的线宽,而High-NA EUV光刻机可打印8nm线宽,所以生产2nm芯片时,效果更好。


另外ASML还称,新EUV光刻机处理晶圆的速度提升了100%至150%,从原来的每小时200片晶圆,提升到每小时400至500片晶圆。


不过,这样的光刻机好是好,价格可不便宜,设备的价格约在3.85亿美元(约28亿元人民币)起步。


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台积电目前拥有标准的0.33数值孔径的光刻机上百台,如果全部换成这种新的,成本高达400亿美元,台积电当然不想换,成本完全背不起啊。


所以,台积电的计划是,不管你ASML怎么升级,反正我不变,我用旧的EUV光刻机,也要生产出2nm,甚至升级版A16(1.6nm)的芯片出来。


这对于ASML而言,就有点麻烦了,一旦新EUV光刻机,得不到台积电这样的巨头支持,那卖给谁呢?因为一旦台积电这么干,三星、intel只怕也会学,那ASML一直以来,靠着不断升级来维持的营收增长,怎么实现了?



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