中商情报网讯：半导体专用设备泛指用于生产各类半导体产品所需的生产设备，属于半导体行业产业链的支撑环节。在整个芯片制造和封测过程中，会经过上千道加工工序，细分又可以划出百种不同的机台，占比较大市场份额的主要有：光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入机、测试机、分选机、探针台等。

一、产业链

半导体设备产业链中，上游为信息交互系统及设备本体构成；中游为半导体设备，光刻设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备为三大核心设备；下游为半导体产品，主要分为四大类，集成电路、分立器件、光电子器件和传感器。

资料来源：中商产业研究院

二、上游分析

1.信息交互系统

半导体设备上游中包括精密运动控制系统、伺服驱动系统和测试分选设备本体；精密运动控制系统作为核心部件，向伺服驱动系统分配运动指令，从而带动测试分选设备本体运转，对芯片进行分选。具体如下图所示：

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2.伺服系统

伺服系统又称随动系统，是用来精确地跟随或复现某个过程的反馈控制系统。伺服系统使物体的位置、方位、状态等输出被控量能够跟随输入目标的任意变化的自动控制系统。它的主要任务是按控制命令的要求、对功率进行放大、变换与调控等处理，使驱动装置输出的力矩、速度和位置控制非常灵活方便。中商产业研究院预测，到2021年，中国伺服系统市场规模将达到224亿元。

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下图为我国伺服系统主要企业汇总一览表：

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三、中游分析

1.市场规模

SEMI在其全球半导体设备市场统计报告中指出，全球半导体制造设备销售额从2019年的598亿美元猛增19％，达到2020年712亿美元的历史新高。中国首次成为全球最大的半导体设备市场，销售额增长39％，达到187.2亿美元。2021年第一季度全球半导体制造设备出货金额较去年同期大幅增长51%，比上一季度也有21%的增长，达到236亿美元，中国半导体制造设备出货金额达59.6亿美元。

数据来源：SEMI、中商产业研究院整理

2.市场占比

从细分产品来看，光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备为半导体设备主要核心设备，分别占比24%、20%、20%。其次为测试设备和封装设备，分别占比9%、6%。

数据来源：SEMI、中商产业研究院整理

3.国产化情况

近年来，中国大陆半导体设备市场占比逐步提高。数据显示，截至2020年第三季度，我国半导体设备在全球市场占比达26.5%。

数据来源：SEMI、中商产业研究院整理

下图为半导体设备细分产品国产化率情况及主要厂商汇总一览表：

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4.重点企业分析

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四、下游分析

1.半导体

半导体专用设备市场与半导体产业景气状况紧密相关，其中芯片制造设备是半导体专用设备行业需求最大的领域，下游新兴产业的快速发展是半导体设备行业的最大驱动力。数据显示，2020年全球半导体销售额达4355.6亿美元，同比增长5.98%，中国半导体销售额达1508.0亿美元。

数据来源：WIND、中商产业研究院整理

2.晶圆制造

数据显示，2016年中国圆晶制造行业市场规模突破1000亿元，到2019年，中国圆晶制造行业市场规模超过2000亿元，达到2149.1亿元。预计2021年，我国圆晶制造行业市场规模或达到2941.4亿元。

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3.集成电路

集成电路在消费电子、高端制造、网络通讯、家用电器、物联网等诸多领域得到广泛应用，已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。数据显示，2020年我国集成电路产量达2612.6亿块，2021年1-5月我国集成电路产量达1399.2亿块，同比增长48.3%。

数据来源：中商产业研究院数据库

4.光电子器件

光电子器件是利用电-光子转换效应制成的各种功能器件。数据显示，2020年我国光电子器件产量达9722.9亿只。2021年1-5月我国光电子器件产量达4755.7亿只，同比增长43.8%。

数据来源：中商产业研究院数据库

5.传感器

传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。数据显示，2019年中国传感器市场规模2189亿元，同比增长12.7%。中商产业研究院预测，2021年中国传感器市场规模可达2953亿元。

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