突破！万业企业集成电路离子注入机获客户验证
2021-12-28
来源：南早网
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12月27日消息，万业企业公司旗下凯世通的高能离子注入机设备已顺利通过验证并完成验收，这是国产高能离子注入机首次通过晶圆厂验证。
集成电路离子注入机主要厂商有应用材料和Axcelis，中国芯片厂使用的离子注入机几乎全部依赖海外。万业企业现完成了国内首台高能离子注入机的验证，关键设备的国产化进程再取得重大突破。
据资料显示，万业企业旗下控股子公司凯世通是一家以离子束技术为核心的集科研、制造于一体的高科技企业，主要研制、生产、再制造和销售高端离子注入机。离子注入机与光刻机、刻蚀机和镀膜机并称四大核心装备，重点应用于集成电路与IGBT制造领域、太阳能电池生产领域、AMOLED面板制造等。
