根据中央气象局资料显示，台北时间 3/23 清晨 1:41 花莲发生芮氏规模 6.6 级有感地震，各地震度为台东 6 级、花连 5 级、南投 4 级、嘉义 4 级、高雄 4 级、云林 4 级、台中 4 级、宜兰 4 级、台南 4 级、彰化 4 级、苗栗 4 级、新竹 4 级、屏东 3 级、桃园 3 级、台北 3 级、澎湖 2 级、马组 1 级。而根据台南科学园区管理局的资料显示，台南因为震度达到 4 级的关系，虽然有部分厂商机台出现当机状况，但没有人员疏散动作，而其他科学区情况也陆续调查更新中。

台南科学园区管理局指出，3/23 清晨 01:41发生有感地震，震央位在花莲县政府南方 62.6 公里，地震深度30.6公里，芮氏规模达到 6.6。根据地震仪测值，台南 26.80Gal (4级)、高雄 16.69Gal (3级)。而厂商地震仪测值，台南群创 B 厂 33.60Gal (4级)，台积 18 厂 33.90Gal (4级)，彩晶 61.00Gal (4级)。

而在地震发生之后，各园区厂商调查后回报状况，群创 B 厂:无人员疏散、部分机台当机。联电无人员疏散，彩晶无人员疏散，台积 18A 厂无人员疏散，群创 F 厂无人员疏散、部分机台当机。整体台南科学园区无重大事故状况，将持续监控与通报。